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更新時(shí)間:2016-07-02 13:03:58瀏覽次數(shù):1568
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德國(guó)HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺常用使用系列LIP372 LIP382 LIP211 LIP281 LIP291 LIP471 LIP481 LIP571 LIP581 LIF471 LIF481
LIDA473 LIDA483 LIDA475 LIDA485 LIDA477 LIDA487 LIDA479 LIDA489 LIDA473
德國(guó)HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。
光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
莫爾條紋:以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。嚴(yán)格地說(shuō),莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
莫爾條紋 W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距,莫爾條紋移過(guò)一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng)
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超精密機(jī)床
高精度機(jī)床
測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
直接驅(qū)動(dòng)
為客戶提供型號(hào)選擇:Heidenhain LB302 6240mm Id.-Nr.:316531-71
Heidenhain 1m id.Nr.:533631-01
Heidenhain LC 183 340mm ID.Nr.:557680-03
Heidenhain 528100-30 ECN 113 2048
HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺 Heidenhain AE LF 183C ID:346164-04
Heidenhain LC 183 ID:557680-01
Heidenhain ERN430 500 ID:385438-32
Heidenhain 295795-02
Heidenhain ERN 430 5000impulse id.Nr:385430-27
HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺 Heidenhain LC 481 470mm id.Nr.:353703-17
Heidenhain LC 182 840mm id.Nr.:368563-07
Heidenhain 315420-04 AE LB 382C
Heidenhain ECN113.2048 ID:528100-30
Heidenhain ID:631703-17
Heidenhain ID:291697- 05
Heidenhain ID: 291698-03
Heidenhain ID:244957-01
Heidenhain ID:310122-03
Heidenhain ROD 486
Heidenhain ROD486 Id.Nr.376886-A2
Heidenhain ECN1132048 Id-Nr:528100-30
Heidenhain MT12W Id.:231011-03 HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺