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HYDAC傳感器的分類
1.電容式加速度傳感器
電容式加速度傳感器可以將振動位移參量的變化轉(zhuǎn)變成為電容量的變化,其基本敏感機理比較簡單。如圖所示,上下極板為固定電容極板具有公共電極,中間質(zhì)量塊為可動電容極板。當(dāng)有外界振動時可動極板跟隨振動,從而改變電容。上下電容同時改變,但是變化方向相反,稱為差動式。其特點是動態(tài)范圍較大,zui大位移和zui小位移之比可大,如果采用差動測量方法數(shù)值增大一倍,靈敏度高、響應(yīng)時間短、穩(wěn)定性好。因為結(jié)構(gòu)簡單,影響穩(wěn)定性的因素少、無內(nèi)部和外部的各種摩擦和接觸應(yīng)力誤差,對溫度變化的固有敏感性低。
2.壓電加速度傳感器
壓電傳感器的工作原理是基于某些晶體材料的壓電效應(yīng),它是一種無源式傳感器,直接將機械能轉(zhuǎn)變成電能。壓電效應(yīng)分為正向壓電效應(yīng)和逆向壓電效應(yīng)。正向壓電效應(yīng)是指當(dāng)晶體受到某固定方向外力作用時,相應(yīng)的在一定晶體表面產(chǎn)生電荷,當(dāng)外力作用消失時,晶體表面的電荷也會隨著消失。當(dāng)外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變。晶體受力產(chǎn)生的電荷量與外力大小成正比。
逆向壓電效應(yīng)是指當(dāng)某晶體沿一定方向受到電場作用時,相應(yīng)的在一定晶軸方向產(chǎn)生機械形變或機械應(yīng)力,當(dāng)外加電場撤去后機械形變或機械應(yīng)力也消失。如圖所示的是利用壓電效應(yīng)的壓電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)簡圖:
3.壓阻式加速度傳感器
壓阻式加速度傳感器主要由3個部分組成:1.帶質(zhì)量塊的懸臂梁彈性元件,可將所要測試的加速度轉(zhuǎn)換成機械變形量(如應(yīng)力、應(yīng)變);2.力敏原件,常用的是硅微固態(tài)壓阻平膜芯片,通過玻璃粉燒結(jié)工藝封裝在彈性元件的zui大應(yīng)力集中處,當(dāng)有加速度作用時,彈性元件的zui大機械變形量就通過平膜芯片的壓阻效應(yīng)轉(zhuǎn)化為惠斯登電橋的電阻變化量,并在一定的電源激勵下,實現(xiàn)對加速度的測量;3.具有過載保護功能的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計。
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5.客戶收到合同查閱同意后蓋章回傳并按照銷售金額匯款到公司開戶行;
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