導(dǎo)讀

近年來，材料、環(huán)境、能源、信息產(chǎn)業(yè)及微電子等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展促使表面科學(xué)成為最為活躍的研究科學(xué)之一，同時(shí)對于表面分析技術(shù)的需求也日益增長。X射線光電子能譜（XPS）技術(shù)作為一種表面分析技術(shù)，在鑒定材料表面的化學(xué)性質(zhì)與組成方面具備獨(dú)特的優(yōu)勢，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科研、先進(jìn)材料研制、高精尖技術(shù)等領(lǐng)域，促進(jìn)了材料學(xué)的研究與發(fā)展。ESCApe軟件是島津XPS的儀器軟件，兼具操作分析功能，功能強(qiáng)大，界面美觀。為了更方便的將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel，最新版本ESCApe Ver. 1.4 進(jìn)行了功能升級。今天，我們以案例分享模式，介紹一個(gè)鍍錫板樣品的全譜與窄譜分析數(shù)據(jù)的導(dǎo)出過程，我們一起來看看吧！

— （文末附完整操作視頻哦~） —

XPS操作方法

導(dǎo)出帶標(biāo)注的全譜

1全譜Peak ID分析

將全譜拖入Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Peak ID，之后運(yùn)行、保存；

2調(diào)節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

全譜保留在Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中雙擊打開全譜，調(diào)節(jié)輸出的格式：點(diǎn)擊Fitted Model，顯示出元素標(biāo)注；選擇Regions，顯示出元素含量；（此處調(diào)節(jié)的格式即最終的保存數(shù)據(jù)格式，如果不雙擊打開全譜，直接運(yùn)行保存，則保存的是不帶元素標(biāo)注的全譜）；

3導(dǎo)出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置、輸入名稱，選擇全譜，點(diǎn)擊運(yùn)行，查看保存結(jié)果。

導(dǎo)出擬合后的窄譜

1窄譜擬合分析

將窄譜拖到Modelling模塊進(jìn)行擬合等數(shù)據(jù)分析，具體操作可參考 XPS（X射線光電子能譜儀）｜數(shù)據(jù)處理（二）

2調(diào)節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

將多個(gè)窄譜拖入Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中雙擊打開其中一個(gè)窄譜，調(diào)節(jié)輸出的格式：點(diǎn)擊Fitted Model，顯示出擬合數(shù)據(jù)；選擇Components，顯示出價(jià)態(tài)含量；（調(diào)節(jié)其中一個(gè)窄譜的數(shù)據(jù)格式，其他窄譜會默認(rèn)按照這個(gè)格式進(jìn)行導(dǎo)出，如果不雙擊打開窄譜，直接運(yùn)行保存，則保存的是不帶擬合數(shù)據(jù)的窄譜）；

3導(dǎo)出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置、輸入名稱，選擇全部窄譜，點(diǎn)擊運(yùn)行，查看保存結(jié)果。

撰稿人：王文昌

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