那諾中國(guó)有限公司
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光學(xué)鍍膜系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2023-11-13 13:49:51瀏覽次數(shù):1827次

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光學(xué)鍍膜系統(tǒng):NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供*進(jìn)的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。

 

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)應(yīng)用

  • 光學(xué)涂層
  • 濺射
  • 離子束輔助沉積
  • 離子束刻蝕清洗
  • 離子束輔助反應(yīng)刻蝕
  • 紅外涂層
  • 表面處理

 

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 射頻偏壓樣品臺(tái)
  • 膜厚監(jiān)測(cè)儀
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 高精度及高重復(fù)性
  • 高品質(zhì)膜層
  • 原子級(jí)的潔凈表面
  • 原子級(jí)清洗和拋光
  • 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 自動(dòng)上下載片
  • 兩個(gè)腔體之間自動(dòng)傳送
  • 菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪(fǎng)問(wèn)保護(hù)
  • 完整的安全聯(lián)鎖
  • 占地面積46”D x 44”W

 

光學(xué)鍍膜系統(tǒng)選配項(xiàng):

  • 向下/向上濺射
  • 共濺射
  • DC,RF以及脈沖電源
  • 離子束輔助沉積
  • 電子束源
  • 等離子源

 

 

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