質(zhì)量流量控制器是控制和測(cè)量氣體流量的儀器,它們?cè)诟鞣N工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。MC標(biāo)準(zhǔn)系列設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項(xiàng)功能和特性以滿足工業(yè)上對(duì)氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中,壓力損失減小
質(zhì)量流量控制器是控制和測(cè)量氣體流量的儀器,它們?cè)诟鞣N工業(yè)應(yīng)用中都非常關(guān)鍵。
以下是一些大家經(jīng)常選購(gòu)的系列:
1 、MC標(biāo)準(zhǔn)系列
其設(shè)計(jì)旨在提供響應(yīng)式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。以下是一些特點(diǎn):
.高精度控制:能夠控制氣體的流量,確保流量保持在用戶設(shè)定值內(nèi)。這對(duì)于需要?dú)怏w流量控制的實(shí)驗(yàn)或工業(yè)應(yīng)用很重要。
.穩(wěn)定性能:該系列控制器性能穩(wěn)定,能夠有效抑制因壓力波動(dòng)導(dǎo)致的影響。
.無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償:與某些流量計(jì)不同,測(cè)量值不會(huì)因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),因此不需要進(jìn)行溫度壓力補(bǔ)償,這是由于它們可直接測(cè)量通過(guò)傳感器的質(zhì)量流量。
.廣泛應(yīng)用:適用于多種氣體,并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用,如半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積、燃燒系統(tǒng)等。
.可定制性:根據(jù)不同的應(yīng)用需求,可提供定制化的選項(xiàng),以滿足特定的操作條件和性能要求。
.用戶界面友好:配備直觀的用戶界面,使得設(shè)置和調(diào)整流量參數(shù)變得簡(jiǎn)單快捷。
.安全性:具備必要的安全特性,以確保在各種操作條件下的安全使用。
2、MCR大流量系列
MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設(shè)計(jì)用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項(xiàng)功能和特性以滿足工業(yè)上對(duì)氣體流量控制的需求。以下是一些詳細(xì)介紹:
. 適用多種標(biāo)準(zhǔn)工況:能夠在不同標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下工作,提供三種工況供切換,允許用戶根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇合適的工作環(huán)境。
. 快速響應(yīng):整合了快速響應(yīng)的比例調(diào)節(jié)閥與優(yōu)化的PID控制,能夠?qū)崿F(xiàn)控制響應(yīng)時(shí)間,這對(duì)于需要迅速調(diào)整流量的工藝來(lái)說(shuō)非常關(guān)鍵。
. 適應(yīng)性高:無(wú)論是在高溫還是低溫環(huán)境下,MCR系列都能保持穩(wěn)定工作。
. 濕度適應(yīng)范圍廣:這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內(nèi)運(yùn)行而不會(huì)發(fā)生冷凝,讓在不同濕度條件下設(shè)備的正常運(yùn)行。
3、MCW/MCRW低壓損系列的特點(diǎn)如下:
. 低壓損設(shè)計(jì):這些控制器設(shè)計(jì)的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中,壓力損失減小,這對(duì)于保持系統(tǒng)的整體效率和成本效益較為重要。
. 層流差壓式原理:產(chǎn)品采用層流差壓式原理,這是一種通過(guò)測(cè)量流體流過(guò)傳感器時(shí)產(chǎn)生的壓力差來(lái)確定流量的方法,能夠?qū)崿F(xiàn)流量控制和測(cè)量。
. 多樣化應(yīng)用:適用于多種行業(yè),包括實(shí)驗(yàn)科研、環(huán)境保護(hù)、生物醫(yī)藥、過(guò)程控制、能源化工、半導(dǎo)體等,顯示出它們的多功能性和適應(yīng)性。
. 兼容性:設(shè)計(jì)兼容多種類(lèi)型的氣體和應(yīng)用,確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。
4、MCS/MCRS耐腐蝕系列
MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專為處理腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)的高精度設(shè)備。以下是詳細(xì)介紹:
. 響應(yīng)速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內(nèi)即可響應(yīng),可以快速達(dá)到并保持設(shè)定值,滿足對(duì)快速控制有要求的應(yīng)用場(chǎng)合。
. 多變量數(shù)據(jù): 用戶能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力,并且設(shè)備能顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù),方便監(jiān)控和調(diào)整過(guò)程參數(shù)。
. 易于集成: 設(shè)計(jì)考慮了與其他系統(tǒng)的集成需求,使得這些控制器能夠輕松地適配到現(xiàn)有的工業(yè)或科研系統(tǒng)中。
. 穩(wěn)定性: 除了快速響應(yīng)外,MCS/MCRS系列還能夠穩(wěn)定地控制目標(biāo)氣體的流量。
. 材料: 設(shè)備的接液部分使用耐腐蝕材料制成,能夠抵抗氣體腐蝕,延長(zhǎng)使用壽命。
5、MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系列
MCE/MCV半導(dǎo)體行業(yè)系特別適用于半導(dǎo)體行業(yè)的真空應(yīng)用。
MCE系列主要針對(duì)低真空應(yīng)用;
MCV系列則適用于高真空應(yīng)用;
以下是詳細(xì)介紹:
. 多變量測(cè)量與控制:這些控制器能夠同時(shí)測(cè)量和控制多個(gè)變量,如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,提供過(guò)程監(jiān)控。
. 多種氣體標(biāo)定:MCE/MCV系列支持多種氣體的標(biāo)定,這意味著它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。
. 量程可調(diào)比:這些控制器具備量程可調(diào)比,使得一臺(tái)設(shè)備就能覆蓋廣泛的應(yīng)用范圍,從而減少了對(duì)多臺(tái)設(shè)備的依賴。
. 快速響應(yīng):MCE/MCV系列在控制響應(yīng)速度上與其標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器一樣快,這對(duì)于需要迅速調(diào)整流量的半導(dǎo)體工藝很重要。
. 緊密聯(lián)系:MCV和MCE系列在設(shè)計(jì)上緊密相關(guān),采用的技術(shù)和應(yīng)用特性相輔相成,為不同真空條件下的應(yīng)用提供了解決方案。
性能參數(shù):
指標(biāo) | MFC |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128%(過(guò)流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(hào)(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A) |