韓國linetech質(zhì)量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。韓國LINETECH經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質(zhì)量流量計(jì)的Z大流量可測到1000SLPM。
 
				        
				            一、linetech質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
    - 測量質(zhì)量流量
     - 無需溫度和壓力補(bǔ)償
     - 結(jié)構(gòu)緊湊
     - 精度高
     - 工作壓力高
     - 響應(yīng)時(shí)間快
     - 重復(fù)性高
 
二、linetech質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
                        |              型號              |                          質(zhì)量流量計(jì)              |                          質(zhì)量流量控制器              |         
                    |              流量范圍(N2)              |                            10SCCM~1000SLPM              |                            10SCCM ~ 300slpm              |         
                    |                響應(yīng)時(shí)間              |                            <2 sec              |                            <2 sec              |         
                    |              精準(zhǔn)度              |                            ≤±1% FS              |                            ≤±1% FS              |         
                    |                重復(fù)精度              |                            ±0.25% FS              |                            ±0.25% FS              |         
                    |                輸入/輸出信號              |                          0~5 Vdc OR 4~20 mA              |                            0~5 Vdc OR 4~20 mA              |         
                    |              供電電源              |                            ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA              |                            ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA              |         
                    |               耐壓              |                            <90bar              |                            0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,             100-300SLPM,<15bar              |         
                    |              工作環(huán)境溫度              |                            0~50 °C              |                            0~50 °C              |         
                    |              漏率              |                            1*10E-9 atm cc/sec              |                            1*10E-9 atm cc/sec              |         
                    |              使用范圍              |                            2 ~ 100%              |                            2~ 100%              |         
    
 
三、linetech質(zhì)量流量控制器接口尺寸

