20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來，Hiden在這一細分領(lǐng)域具有強大的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點：

1、連接件電拋光工藝處理

2、取樣壓力：1mTorr to 1000Torr

3、高靈敏度三級過濾四極桿

4、檢測限可達 5 ppb

5、QGA專業(yè)版定量分析軟件