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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

1030nm,515nm,343nm，<350fs-1ps脈寬可調(diào)，F(xiàn)emtoLux30飛秒激光器

立陶宛EKSPLA FemtoLux 30飛秒激光器還可稱為EKSPLA 30W工業(yè)級(jí)飛秒激光器，其從設(shè)計(jì)之初就注重提供高可靠性，采用了“干式"冷卻技術(shù)并無(wú)縫集成到激光器，實(shí)現(xiàn)無(wú)間斷的24/7/365零維護(hù)運(yùn)行。

工業(yè)fs激光器FemtoLux 30波長(zhǎng)是1030nm,515nm和343nm，這款1030nm,515nm,343nm飛秒激光器具有可調(diào)脈沖持續(xù)時(shí)間，范圍從<350 fs至1ps，在寬范圍內(nèi)以AOM控制脈沖重復(fù)率，實(shí)現(xiàn)單脈沖到4MHz的高重頻輸出。1030nm,515nm,343nm飛秒激光器在單脈沖模式下，最大脈沖能量超過100μJ。而在burst mode下，則可達(dá)實(shí)現(xiàn)450µJ以上的輸出能量，確保適應(yīng)不同材料，并實(shí)現(xiàn)更高燒蝕率和加工吞吐量。

FemtoLux30飛秒激光器優(yōu)異的光束參數(shù)能夠滿足苛刻的材料和微加工應(yīng)用的需求。*的激光控制模塊擁有強(qiáng)大的通信交互能力，配備幾乎所有常見標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議，外部控制器可以非常便捷的控制FemtoLux 30激光器。這些控制可以在不同的平臺(tái)上運(yùn)行，無(wú)論是Windows、Linux還是其他使用REST API命令的平臺(tái)。這讓設(shè)備集成變得簡(jiǎn)單，大大減少了將這款EKSPLA激光器/FemtoLux30飛秒激光器集成到微加工設(shè)備中所需的開發(fā)時(shí)間和人力資源。

EKSPLA 30W工業(yè)級(jí)飛秒激光器

帶倍頻模塊的EKSPLA工業(yè)級(jí)飛秒激光器1030nm/515nm/343nm FemtoLux 30激光頭和電源圖示

1030nm,515nm,343nm飛秒激光器FemtoLux30的主要特性：

- 最大輸出功率(典型值)：30W at 1030nm, 11W at 515nm, 6W at 343nm

- 最大輸出能力(典型值)：>100µJ at 1030nm, >55µJ at 515nm, >30µJ at 343nm

- HE高能量版本可定制(1mJ at 10kHz)

- MHz, GHz, MHz+GHz burst多種模式可定制

- >450µJ單個(gè)burst能量

- <350fs–1ps

- 單脈沖到4MHz(AOM控制)

- Pulse-on-demand(PoD)，超低抖動(dòng)20ns(峰-峰)

- <0.5% RMS長(zhǎng)期功率穩(wěn)定性(>100小時(shí))

- M2<1.2，光斑圓度>0.85

- 0維護(hù)需要，干式冷卻(全面無(wú)水)

1030nm,515nm,343nm飛秒激光器FemtoLux30的應(yīng)用：

- 玻璃，藍(lán)寶石，陶瓷材料，精密微加工

- 微電子制造

- 玻璃內(nèi)部構(gòu)造

- 各類聚合物，金屬微加工

- LCD，LED，OLED鉆孔切割修復(fù)

工業(yè)fs激光器FemtoLux 30的無(wú)縫式用戶體驗(yàn)：

- 輕松集成–RS232，LAN或其他標(biāo)準(zhǔn)接口，通過REST API進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

- 減少集成時(shí)間–demo包，源代碼，開放式提供

- 安裝簡(jiǎn)易快捷–無(wú)水“干式"設(shè)計(jì)，激光頭可拆卸分離，用戶可以自行安裝

- 故障排查便捷–內(nèi)部集成探測(cè)器，實(shí)時(shí)記錄狀態(tài)日志

- 無(wú)需周期維護(hù)

工業(yè)fs激光器FemtoLux 30(1030nm/515nm/343nm)的主要指標(biāo)¹⁾：

型號(hào)		FemtoLux 30
EKSPLA激光器FemtoLux 30主要指標(biāo)
中心波長(zhǎng)	基頻	1030nm
	二倍頻選項(xiàng)	515nm
	三倍頻選項(xiàng)	343nm
脈沖重復(fù)頻率(PRR)²⁾		200kHz–4MHz
脈沖重復(fù)頻率(PRF)選單器后		PRF=PRR/N, N=1,2,3,…,65000;單脈沖
平均輸出功率	at 1030nm³⁾	>27W(典型30W)
	at 515nm	>11W⁴⁾
	at 515nm	>6W⁴⁾
脈沖能量	at 1030nm	>100µJ或1mJ⁵⁾
	at 515nm	>55µJ⁴⁾
	at 515nm	> 30µJ⁴⁾
MHz burst內(nèi)部脈沖數(shù)量⁶⁾		2–10
最大burst能量⁷⁾		>450µJ
功率長(zhǎng)期穩(wěn)定性(Std. dev.)⁸⁾		<0.5%
脈沖能量長(zhǎng)期穩(wěn)定性(Std. dev.)⁹⁾		<1%
脈沖寬度(FWHM)@1MHz		tunable,<350fs¹⁰⁾–1ps¹¹⁾
脈沖寬度調(diào)節(jié)范圍(可選配)		tunable, up to 1ns
光束質(zhì)量		M2<1.2(典型<1.1)
光斑圓度, 遠(yuǎn)場(chǎng)		>0.85
光束發(fā)散角(遠(yuǎn)場(chǎng))		<1mrad
光束指向熱穩(wěn)定性		<20µrad/°C
光斑直徑(1/e2)@1030nm		2.5±0.4mm@65cm
偏振方向		豎直線偏振
觸發(fā)模式		internal/external
脈沖輸出控制		frequency divider, pulse picker, burst mode, packet triggering, power attenuation, pulse-on-demand¹²⁾
通信接口		RS232/LAN
臍線長(zhǎng)度		3m, detachable. Custom length option available
激光頭冷卻方式		干式冷卻(直接制冷劑制冷-可分離式)
物理參數(shù)
激光頭(寬×長(zhǎng)×高)		434×569×150mm
電源尺寸(寬×長(zhǎng)×高)		449×496×184mm
環(huán)境參數(shù)
供電要求		100–240V AC, 單相50/60Hz
最大功耗		800W
環(huán)境溫度		18–27°C
相對(duì)濕度		10–80%(無(wú)冷凝)
空氣等級(jí)		ISO 9(room air) or better

1)由于不斷改進(jìn)，所有規(guī)格如有變更，恕不另行通知。標(biāo)有典型值的參數(shù)并非規(guī)格，是典型性能的指示，會(huì)隨生產(chǎn)的每臺(tái)設(shè)備而變化。所有參數(shù)均針對(duì)最短脈沖持續(xù)時(shí)間，除非另有說明，否則所有規(guī)格都是在1030nm波長(zhǎng)下測(cè)量的，且為不含選件的基本系統(tǒng)

2)當(dāng)分頻器設(shè)置為每個(gè)脈沖都發(fā)射時(shí)，由集成的AOM控制

3)At 1MHz

4)At 200kHz

5)其他可用的能量和重復(fù)頻率組合

6)振蕩器頻率~50MHz，脈沖間隔~20ns

7)MHz突發(fā)模式或MHz+GHz突發(fā)模式，PRR為50kHz

8)在恒定環(huán)境條件下預(yù)熱 100 小時(shí)以上

9)在恒定的環(huán)境條件下

10)當(dāng)PRR>500kHz 時(shí)，在PRR<500kHz時(shí)，最短脈沖持續(xù)時(shí)間<400fs

11)可根據(jù)要求定制脈沖持續(xù)時(shí)間。例如，可提供固定的50fs

12)可選功能。抖動(dòng)<20ns，觸發(fā)到脈沖延遲<1µs

EKSPLA 30W工業(yè)級(jí)飛秒激光器1030nm/515nm/343nm的性能曲線