LEJ深紫外汞氙燈光源 返回列表頁(yè)

LEJ 100W汞氙燈光源，無(wú)熱漂移現(xiàn)象，光路重復(fù)精度優(yōu)于0.1μm  

LEJ深紫外照明系統(tǒng)是一款專為晶圓檢測(cè)和光掩模分析設(shè)計(jì)的高穩(wěn)定性紫外光源設(shè)備。該系統(tǒng)采用100W汞氙燈（HgXe lamps）作為光源，集成了點(diǎn)火裝置和鎮(zhèn)流器（ballast），通過(guò)低熱漂移技術(shù)和穩(wěn)定的直流電源供應(yīng)，提供極其穩(wěn)定的紫外輻射。集成化設(shè)計(jì)：LEJ深紫外汞氙燈光源的點(diǎn)火器直接集成在燈箱lh-qx-100.60內(nèi)部，相比外置點(diǎn)火器具有更高的可靠性和更簡(jiǎn)潔的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。精確觸發(fā)時(shí)序：與鎮(zhèn)流器ebqx  100-04配合，確保在最佳時(shí)機(jī)施加點(diǎn)火電壓，延長(zhǎng)LEJ 光纖耦合紫外UV光源使用壽命。多重保護(hù)機(jī)制：包含過(guò)壓保護(hù)、短路保護(hù)等

LEJ深紫外汞氙燈光源產(chǎn)品特點(diǎn)  

-無(wú)熱漂移現(xiàn)象

-可重復(fù)的機(jī)械調(diào)節(jié)

-燈箱內(nèi)集成點(diǎn)火裝置

-緊湊型燈箱設(shè)計(jì)

-安全電路功能

-運(yùn)行時(shí)間計(jì)數(shù)器

深紫外照明系統(tǒng)：  

LEJ深紫外照明系統(tǒng)（Deep UV illumination system）：這是整套設(shè)備的核心名稱，采用特殊設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)，能夠在深紫外波段提供穩(wěn)定均勻的照明。LEJ深紫外照明系統(tǒng)特別適合微納結(jié)構(gòu)檢測(cè)，其穩(wěn)定性在同類產(chǎn)品中處于前列。深紫外照明系統(tǒng)的光譜特性如圖所示。

圖：無(wú)聚光元件的汞氙燈光譜

圖：深紫外照明系統(tǒng)的紫外光譜

燈箱lh-qx-100.60（Lamp house lh-qx-100.60）：這是系統(tǒng)的核心組件之一，集成了光源和反射鏡系統(tǒng)。燈箱lh-qx-100.60采用緊湊設(shè)計(jì)，尺寸僅為169x126x154mm，重量3.4kg。燈箱lh-qx-100.60具有可調(diào)節(jié)的燈座和反射鏡，確保光路精確對(duì)準(zhǔn)。燈箱lh-qx-100.60的安全性能符合EN 61010-1標(biāo)準(zhǔn)。

鎮(zhèn)流器ebqx 100-04（Ballast ebqx 100-04）：這是為100W汞氙燈專門設(shè)計(jì)的電源控制單元。鎮(zhèn)流器ebqx 100-04采用恒流工作模式，最大輸出功率130W。鎮(zhèn)流器ebqx 100-04具有完善的安全保護(hù)功能，包括過(guò)溫保護(hù)等。鎮(zhèn)流器ebqx 100-04的輸入電壓范圍寬達(dá)90-264VAC，適應(yīng)全球各地電網(wǎng)。

汞氙燈（HgXe lamps）：這是系統(tǒng)的光源核心，型號(hào)為HAMAMATSU L8029-01或L2422-01。汞氙燈在深紫外波段具有特殊的發(fā)射特性，特別適合微細(xì)結(jié)構(gòu)檢測(cè)。汞氙燈的點(diǎn)火電壓為16.5-20VDC，工作電流5.5±0.3A。汞氙燈通過(guò)專用燈座連接，確保穩(wěn)定可靠的電氣接觸。

環(huán)形燕尾槽/法蘭（Ring dovetail/Flange）：這是系統(tǒng)的機(jī)械接口部件，用于將燈箱安裝到各種應(yīng)用設(shè)備上。環(huán)形燕尾槽/法蘭可根據(jù)客戶需求定制，確保與不同設(shè)備的兼容性。環(huán)形燕尾槽/法蘭的安裝方式靈活，支持多種調(diào)整需求。環(huán)形燕尾槽/法蘭是系統(tǒng)集成的重要組件。

技術(shù)參數(shù)表  

燈箱 lh-qx-100.60:  

鎮(zhèn)流器 ebqx 100-04:  

訂購(gòu)信息