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中級(jí)會(huì)員 | 第11年

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巴魯夫位移傳感器選擇參數(shù)使用

時(shí)間：2019/8/7閱讀：1016
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真空等級(jí)

在密閉的空間中，空氣被抽出成為無(wú)空氣

的空間。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降，

產(chǎn)生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣

壓越低，真空度越高。真空度分為四級(jí)。

高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣

壓時(shí)，為中等真空度。低于0.001 mbar為

高真空度，達(dá)到或低于0.000 000•1•mbar

為超高真空度。

真空應(yīng)用

真空需要一個(gè)密閉的空間不存在任何空氣，

因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任

何“異物”存在。有時(shí)需要在真空中測(cè)量

尺寸，例如需要檢查亞微米級(jí)的超精細(xì)結(jié)

構(gòu)或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和

角度編碼器在真空中的常見(jiàn)應(yīng)用包括電子

顯微鏡、機(jī)械手、多路執(zhí)行器、XY工作

臺(tái)、電子束顯微鏡，半導(dǎo)體工業(yè)的圓晶檢

查或測(cè)量同步加速器輻射的光譜儀軸。

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