BIS VM-301-001-S4巴魯夫用戶通訊模塊選擇

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耐高溫

為縮短抽真空時間和獲得較高真空度，真

空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。

因此，附著在編碼器外殼上的水分子將被

氣化并被快速抽除。為此，真空應用的編

碼器必須能承受100 °C甚至更高的溫度。

超凈

真空腔中的編碼器必須經(jīng)過特別清潔處理，

保持高清潔度。大多數(shù)潤滑脂和潤滑油，

甚至指印，在真空中都滲出氣體，因此都

不允許存在。否則，可能逸出細小顆粒或

灰塵，例如造成被檢查的微電子電路板損

壞或影響實驗結(jié)果。為此，在編碼器生產(chǎn)

過程中和包裝過程中，全面滿足超凈的特

殊要求。

海德漢在超凈車間中生產(chǎn)真空應用的編碼

器。包裝也采用特別的設計。編碼器采用

雙重包裝，密封前在包裝內(nèi)充入氮氣。

電氣連接

海德漢編碼器的接頭能方便地穿入真空腔

外殼。

LIP和LIF系列直線光柵尺需要接口電子電路

將信號轉(zhuǎn)換成1•VPP。該接口在D-sub接頭

內(nèi)。接口電子電路直接安裝在高真空應用

的設備上。對于超高真空應用，接口電子

電路必須在真空腔外。因此，高真空應用

的LIP和LIF提供兩種版本的電纜。讀數(shù)頭與

接口電子電路間的電纜長度可達3米。