桌面式半導(dǎo)體快速退火爐

桌面式半導(dǎo)體快速退火爐，RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設(shè)備，標(biāo)配三組工藝氣體，可最大兼容6英寸晶圓Wafer。

桌面式半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢

?紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷；

?采用快速PID溫控，可精準(zhǔn)控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；

?采用平行氣路進(jìn)氣方式，氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性；

?大氣與真空處理方式均可選擇，實現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理。

晟鼎與華南理工大學(xué)聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實驗室，所有產(chǎn)品系列皆通過CE認(rèn)證。