SN內(nèi)槽測(cè)量?jī)x
用 于測(cè)量溝槽、凹槽的寬度;帶有測(cè)頭收回裝置,但收回后,測(cè)頭減少的幅度小于ST系列。但相對(duì)ST系列,SN可測(cè)量小溝槽的直徑。應(yīng)用范圍為60~300mm。 如果被測(cè)溝槽的精度只需要達(dá)到0.01,建議使用經(jīng)濟(jì)型的ON/ONM系列
測(cè)量范圍 | 重復(fù)精度 | zui大誤差 |
60-300 | ≤1.0μm | ≤2.0μm |
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