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厭氧高溫試驗(yàn)箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化嫁、銀酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
厭氧高溫試驗(yàn)箱主要技術(shù)特點(diǎn)哪些功能?
1.溫度范圍:(環(huán)境溫度+20)℃~200℃(可按客戶要求做)
2.升溫時(shí)間:環(huán)境溫度 → +200℃≤35min
3.氮?dú)鈱?dǎo)入:降溫過程開 兩路閥,以保持正壓狀態(tài)路氮?dú)?,各每支路上裝有控制電磁閥和調(diào)節(jié)流量計(jì),升溫(排氧)過程開 兩 路閥,以保障能充分排氧。
4.降溫時(shí)間:200℃~80℃時(shí),約50分鐘
5.通訊功能:S-485 接口, 具有本地和遠(yuǎn)程通訊功能( 需配集中監(jiān)控軟件、 RS-485/RS-232 轉(zhuǎn)換器,需占用 PC 機(jī)的COM 口和USB 口各一個(gè));最多可同時(shí)連接 16 臺設(shè)備,電纜累計(jì)長度最大 800m
安裝場地要求:
1.地面平整,通風(fēng)良好
2.設(shè)備周圍無強(qiáng)烈振動
3.設(shè)備周圍無強(qiáng)電磁場影響
4.設(shè)備周圍無易燃、腐蝕性物質(zhì)和粉塵
5.設(shè)備周圍留有適當(dāng)?shù)氖褂眉熬S護(hù)空間,如下圖所示:A:不小于60cm B:不小于120cm C:不小于60cm D: 不小于120cm
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