3D光學表面輪廓儀的工作原理和應用

 

為什么需要測量表面形貌？

　　在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更、更真實地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞及設計要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導加工、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn)。

 

3D光學表面輪廓儀的測量原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

3D光學表面輪廓儀的應用

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀讓輪廓測量價格更為實惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。