詳細介紹
Filmetrics-F40薄膜厚度測量儀-膜厚儀
結(jié)合顯微鏡的薄膜測量系統(tǒng)
Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系統(tǒng) Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系統(tǒng)
Filmetrics的精密光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。
當(dāng)測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時,F(xiàn)40是優(yōu)先的選擇。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡,再進行測量,即可獲得的厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件,F(xiàn)40就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭,可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。
* 取決于材料
1.使用5X物鏡參考
2.是基于連續(xù)20天,每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2 薄膜樣品連續(xù)測
量100次所得厚度值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值
3.是基于連續(xù)20天,每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2薄膜樣品連續(xù)測
量100次所得厚度值的2倍標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值
選擇Filmetrics的優(yōu)勢
• 桌面式薄膜厚度測量
• 24小時電話,郵件和在線支持
• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附 加 特 性
• 嵌入式在線診斷方式
• 免費離線分析軟件
• 精細的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果
相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造 生物醫(yī)學(xué)原件
• 光刻膠 • 聚合物/聚對二甲苯
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度
• 硅或其他半導(dǎo)體膜層 • 植入藥物涂層
微電子 液晶顯示器
• 光刻膠 • 盒厚
• 硅膜 • 聚酰亞胺
•氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡 • 導(dǎo)電透明膜