HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀

HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的主要特點

1. 液晶調(diào)制技術(shù)，無機械轉(zhuǎn)動部件，重復(fù)性，信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試

4. 全自動集成度高，安裝維護(hù)簡便

5. 一鍵式操作軟件，快速簡單

6. 自動MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

HORIBA 一鍵式全自動快速橢偏儀的技術(shù)參數(shù)

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動選擇

3. 光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

4. 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器