Filmetrics 膜厚測量儀自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠 F60 的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標移動平臺，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度，測試非?？焖伲蠹s每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。 在約 45 秒的時間就可以掃描完標準 49 點分布圖

Filmetrics F60-t 光學膜厚測量儀

 

Filmetrics 優(yōu)勢
嵌入式在線診斷
免費離線分析軟件
精細的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效的存儲，重現(xiàn)與繪制測量結(jié)果

免費現(xiàn)場演示/支持
點幾下鼠標就可以在網(wǎng)絡上在線看到現(xiàn)場演示！請，我們的應用工程師會在電腦上為您演示薄膜測量是多么容易！

自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)
依靠 F60 的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度分布圖。 采用 r-θ 極坐標移動平臺，可以非?？焖俚亩ㄎ凰?/span>測試的點并測試厚度，測試非?？焖伲蠹s每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。 在約 45 秒的時間就可以掃描完標準 49 點分布圖

 

可測樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測量。例如：
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅

相關應用
半導體制造
光刻膠  氧化物  氮化物

光學鍍膜
硬涂層 抗反射涂層 濾光片

液晶顯示器
盒厚 聚酰亞胺 ITO

生物醫(yī)學
聚對二甲苯 生物膜 硝化纖維

 

 

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