目錄:上海屹持光電技術(shù)有限公司>>激光調(diào)制與測(cè)量>>光學(xué)測(cè)量設(shè)備>> SIT-200硅片厚度測(cè)量?jī)x
參考價(jià) | ¥1000-¥10000 | /臺(tái) |
參考價(jià):¥1000 ~ ¥10000
更新時(shí)間:2024-12-26 17:28:30瀏覽次數(shù):984評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
---|---|---|---|
組件類別 | 其他 |
硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200
硅片厚度測(cè)量?jī)x(SIT-200)由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長(zhǎng)掃描光聚焦照射到目標(biāo)上,由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過(guò)聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。
硅片厚度測(cè)量?jī)xSIT-200產(chǎn)品特點(diǎn):
l 全光學(xué),非接觸硅片厚度測(cè)試
l 高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面
l 濕法刻蝕過(guò)程中實(shí)時(shí)測(cè)量
高靈敏度 高精度 快速測(cè)量 遠(yuǎn)程控制
結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200
產(chǎn)品參數(shù):
測(cè)量目標(biāo) | 硅片 |
測(cè)量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw,Class1 |
指示光源 | 紅光,Class1M |
測(cè)量時(shí)間 | 20ms |
重復(fù)性 | 0.1μm |
輸出監(jiān)控 | 干擾信號(hào)(電學(xué)) |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V,50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)