目錄:上海屹持光電技術(shù)有限公司>>激光調(diào)制與測量>>光學(xué)測量設(shè)備>> SIT-200硅片厚度測量儀
| 參考價(jià) | ￥1000-￥10000 | /臺(tái) |
參考價(jià)：￥1000 ~ ￥10000
更新時(shí)間：2024-12-26 17:28:30瀏覽次數(shù)：926評價(jià)
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 其他 |
硅片厚度測量儀SIT-200
硅片厚度測量儀（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。
硅片厚度測量儀SIT-200產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 全光學(xué)，非接觸硅片厚度測試
l 高動(dòng)態(tài)范圍測量粗糙表面
l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測量
高靈敏度 高精度 快速測量 遠(yuǎn)程控制
結(jié)構(gòu)示意圖
SIT-200
產(chǎn)品參數(shù)：
測量目標(biāo) | 硅片 |
測量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 紅光，Class1M |
測量時(shí)間 | 20ms |
重復(fù)性 | 0.1μm |
輸出監(jiān)控 | 干擾信號（電學(xué)） |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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