目錄:儀景通光學科技(上海)有限公司>>工業(yè)顯微鏡>>光學測量顯微鏡>> AL120半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車 |
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我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
對應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)
宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓大傾斜30゜進行觀察。
為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
晶圓搬送機的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認。
AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現(xiàn)了優(yōu)質(zhì)的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。