日立熒光鍍層厚度測量儀

FT110A日立熒光鍍層厚度測量儀規(guī)格參數(shù)：

型號(hào)名稱：FT-110A

測量元素：原子序數(shù)22（Ti）~83（Bi）

檢測器：比例計(jì)數(shù)管

X射線管：管電壓：50kV    管電流：1mA

準(zhǔn)直器：4種（Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm）

樣品觀察：CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察）

X-Ray Station：電腦、19英寸液晶顯示器

膜厚測量軟件：薄膜EP法、標(biāo)準(zhǔn)曲線法

測量功能：自動(dòng)測量、中心搜索

定性功能：KL標(biāo)記、比較表示

使用電源：220V/7.5A

FT110A日立熒光鍍層厚度測量儀特長：

1.自動(dòng)對(duì)焦功能 自動(dòng)接近功能
   在樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí)，只要高低差在80mm范圍內(nèi)，即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。

    ●自動(dòng)對(duì)焦功能    簡便的攝像頭對(duì)焦

    ●自動(dòng)接近功能    位置的對(duì)焦

2.通過新 薄膜FP法提高測量精度

   日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外，針對(duì)檢測器的特性開發(fā)了新的EP法，可進(jìn)行無標(biāo)樣測量。測量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書，簡單方便。

    ●新 薄膜EP法   

      減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測量條件的簡易化

      無標(biāo)樣測量方法可進(jìn)行zui多5層的膜厚測量

    ●自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能    

      凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進(jìn)行測量

    ●靈敏度提高

      鍍層測量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2

    ●生成報(bào)告功能

      一鍵生成測量報(bào)告書

3.廣域樣品觀察

FT110A對(duì)測量平臺(tái)（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數(shù)測量點(diǎn)位置的選取時(shí)間，以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。

    ●廣域圖像觀察    輕松定位