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篤摯儀器（上海）有限公司
主營產(chǎn)品： 泰勒霍普森代理，Taylor Hobson粗糙度儀，德國馬爾粗糙度儀，Mahr，三豐粗糙度儀代理，霍梅爾Hommel |
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聯(lián)系電話
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篤摯儀器（上海）有限公司
主營產(chǎn)品： 泰勒霍普森代理，Taylor Hobson粗糙度儀，德國馬爾粗糙度儀，Mahr，三豐粗糙度儀代理，霍梅爾Hommel |
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ZYGO ZeGage系列3D光學(xué)表面輪廓儀介紹：
ZeGage系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以準(zhǔn)確的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。
ZeGage™ 非常適用于量測精密加工產(chǎn)品的3D表面形貌與表面的粗糙度等的非接觸式光學(xué)輪廓儀, 是根據(jù)精密加工產(chǎn)業(yè)的需求所設(shè)計(jì)的快速且高精度的量測儀器,其精巧的外型及防震的設(shè)計(jì)使其可以很輕易地放置在工廠中使用并進(jìn)行量測而不需要放置在的防震平臺上或特別的隔離環(huán)境中.
ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速，準(zhǔn)確的測量方案，并且外形緊湊、性價(jià)比高，能夠放在生產(chǎn)車間工作，而不需要振動(dòng)隔離和特殊的隔離裝置。同時(shí)交互式的控制軟件MxTM提供了簡單而精細(xì)的圖形圖像來幫助你的加工處理。如需獲取更多的信息，了解Zegage系統(tǒng)的能力、功能和價(jià)值請繼續(xù)往下看。
| 性能參數(shù) | |
| 縱向掃描范圍 | 150um,拓展掃描模式可到20mm |
| 縱向分辨率 | ＜0.1nm |
| 橫向分辨率 | 0.34um(100X) |
| 掃描速度 | ≤0.34um/sec,與所選的CCD和掃描模式有關(guān) |
| RMS重復(fù)性 | ＜0.01nm |
| 臺階測量準(zhǔn)確度 | ≤0.8% 重復(fù)性≤0.1%@1? |
• 抗震性能，適合于生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測和過程控制。
• 所有參數(shù)遵照ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，保證計(jì)量結(jié)果的可性度。
• 非接觸式計(jì)量技術(shù)不會引起任何待測件的損傷。
• 計(jì)算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺。
• 基于區(qū)域的測量，對待測件如何放置不敏感。
• 測量無需任何耗材。
很強(qiáng)的性能
• 結(jié)合抗震的非接觸式的光學(xué)測量技術(shù)，無需振動(dòng)隔離平臺或者隔離裝置。
• 納米級的表面定量計(jì)量精度提供了出色的計(jì)量能力。
• 關(guān)聯(lián)的2D和3D標(biāo)準(zhǔn)，符合ISO 25178面形粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
• 百萬像素的高分辨率圖形傳感器可以在幾秒時(shí)間內(nèi)進(jìn)行快速面測量，并給出良好的表面細(xì)節(jié)成像。
• 集成的自動(dòng)聚焦和聚焦輔助功能使操作非常簡單并且減少了由于操作誤差。
• 可選配機(jī)動(dòng)樣品臺，使高精度檢測的自動(dòng)測量和大面積拼接成為可能。
多功能性
• 測量各種材料的面形，提供個(gè)中參數(shù)，包括表面結(jié)構(gòu)，面形和臺階高度等等的2D和3D 圖形。
• 可選擇放大倍率和視場為系統(tǒng)提供更多選擇。
• Mx軟件提供全面的用于表面數(shù)據(jù)圖像處理、分析和報(bào)告的工具。
• 配備的T型槽樣品臺使測量操作簡單、可以重復(fù)的定位。
生產(chǎn)力和價(jià)值
• 與同類產(chǎn)品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價(jià)比，及高測量性能。
• 緊湊的機(jī)型，及具有**抗震技術(shù)SureScan(TM)技術(shù)，使Zegage可以整合在工廠里的任何地方。
• 非接觸式的測量系統(tǒng)，沒有耗材，不用擔(dān)心使用成本。
• 操作簡便，只需簡單培訓(xùn)即可上手，也降低了維護(hù)成本。
• 大功率、長壽命的LED光源使設(shè)備可以長期無障礙運(yùn)行。
