晶圓搬運機loader含顯微鏡

產(chǎn)品簡介：
•AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓
•非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
•適應范圍廣、搭配靈活
•高度實用性
•進一步優(yōu)化的宏觀檢查
•操作便捷
•高度可靠性
•優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
•堅固、耐用的顯微鏡底座
•人機工程學設計的載物臺
•電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度
•如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上

產(chǎn)品特點：
•對應多種尺寸組合
•有200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號
•對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓
•宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵
•利用360゜旋轉(zhuǎn)功能，*可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）
•在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察
•為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達10個檢查程序
•使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度
•快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序
•晶圓搬送機的菜單設置和設置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示
•使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認
•AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度
•為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計
•在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令
•AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法
•實現(xiàn)了*的圖像分辨率和清晰度
•手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
•可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化
•只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

• 為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。

• 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐用的顯微鏡底座

     AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。

人機工程學設計的載物臺

• 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

• 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。