應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 光學(xué)系統(tǒng): | 同時(shí)3種通道檢測, 可到達(dá)分辨率0.1um |
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?速系統(tǒng): | 6 inch 只要3分鐘 | 復(fù)判判斷: | 內(nèi)建整合DIC顯微鏡, 可透過?倍率的?式對于瑕疵進(jìn)?影像確認(rèn)與分析. |
分類模塊: | 可針對瑕疵尺???進(jìn)?分類統(tǒng)計(jì), 后續(xù)還可對于不同通道的訊號進(jìn)?AI瑕疵分類. |
?動(dòng)?業(yè)顯微鏡系統(tǒng) (5X~150X)
Wafer 表?瑕疵檢測系統(tǒng) (1um)
Particle counter檢測設(shè)備 (0.1um)
光學(xué)系統(tǒng): 同時(shí)3種通道檢測, 可到達(dá)分辨率0.1um
?速系統(tǒng): 6 inch 只要3分鐘
復(fù)判判斷: 內(nèi)建整合DIC顯微鏡, 可透過?倍率的?式對于瑕疵進(jìn)?影像確認(rèn)與分析.
分類模塊: 可針對瑕疵尺???進(jìn)?分類統(tǒng)計(jì)