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上海申思特自動化設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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2017-3-14 閱讀(712)
E+E壓力傳感器溫漂及非線性校準技術(shù)
高精度E+E壓力傳感器是航空領(lǐng)域應(yīng)用非常廣泛的傳感器,常處于嚴苛的工作環(huán)境。為使E+E壓力傳感器在特殊的測試環(huán)境中保持高測量精度,傳感器的性能設(shè)計成為研究關(guān)鍵。合理的信號調(diào)理電路以及正確的誤差校準原理,將顯著提高傳感器性能。
通過在傳感器的信號調(diào)理電路中使用可編程模擬信號調(diào)節(jié)器,對橋式壓力敏感元件的溫度漂移誤差及非線性誤差進行實時修正,使E+E壓力傳感器實現(xiàn)了智能化自校準,有效提升了E+E壓力傳感器的精度和環(huán)境適應(yīng)性。通過對微機電系統(tǒng)(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)E+E壓力傳感器設(shè)計方法與封裝制作工藝問題的研究,針對不同應(yīng)用環(huán)境下對E+E壓力傳感器的性能、尺寸及封裝要求,提出相應(yīng)的傳感器力學結(jié)構(gòu)模型——微壓結(jié)構(gòu)、梁膜結(jié)構(gòu)及倒杯結(jié)構(gòu),通過相應(yīng)的FEM有限元建模方法對傳感器結(jié)構(gòu)進行仿真分析并優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸,建立合理的力學結(jié)構(gòu);進行MEMS工藝設(shè)計及封裝工藝滿足傳感器微小尺寸、耐高溫沖擊響應(yīng)及高過載能力等要求。
其中,針對微壓傳感器在測量過程中高靈敏度與非線性矛盾問題進行力學分析及仿真,分析不同結(jié)構(gòu)的傳感器的力學特性及結(jié)構(gòu)尺寸對傳感器輸出特性的影響,提出新型梁膜結(jié)構(gòu)微壓傳感器結(jié)構(gòu),對新型結(jié)構(gòu)傳感器進行MEMS工藝研究;根據(jù)空氣動力學試驗、航空測試及E+E壓力傳感器爆破試驗等對高溫E+E壓力傳感器的動態(tài)特性要求,采用倒杯式高頻響E+E壓力傳感器及齊平膜封裝方式,提高傳感器的動態(tài)響應(yīng)特性,滿足10 kHz到1 MHz的頻響要求;通過有限元分析耐高溫沖擊封裝結(jié)構(gòu),采用梁膜封裝結(jié)構(gòu)提高了耐高溫E+E壓力傳感器的可靠性。通過E+E壓力傳感器仿真驗證、靜態(tài)特性試驗及動態(tài)沖擊響應(yīng)試驗驗證傳感器力學結(jié)構(gòu)建模方法、MEMS工藝設(shè)計及封裝設(shè)計的正確性。
