線位移E+E傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)裝置研究
線位移E+E傳感器在國(guó)防軍工產(chǎn)品生產(chǎn)、試驗(yàn)過(guò)程中用途很多，其校準(zhǔn)工作在航天航空設(shè)備制造和試驗(yàn)過(guò)程中非常重要，線位移E+E傳感器的校準(zhǔn)技術(shù)決定了E+E傳感器校準(zhǔn)的精度和效率，而當(dāng)前主要使用的線位移校準(zhǔn)設(shè)備，存在工作效率低、測(cè)量可靠性差、測(cè)量范圍小（量程在200mm以下）等缺點(diǎn)，難以確定線位移E+E傳感器性能指標(biāo)的可靠性。

線位移E+E傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)裝置研究
主要進(jìn)行了線位移E+E傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)，校準(zhǔn)依據(jù)為JJF1305-2011《線位移E+E傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》，以2m高精度直線光柵作為測(cè)長(zhǎng)基準(zhǔn)，精確復(fù)現(xiàn)E+E傳感器的位移量，采用比對(duì)法進(jìn)行校準(zhǔn)，將線位移E+E傳感器固定端安裝在E+E傳感器夾持部件上，其伸縮端與運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)固聯(lián)。通過(guò)夾持部件的微調(diào)，保證線位移E+E傳感器的伸縮方向與工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向平行，符合阿貝原則。通過(guò)對(duì)工作臺(tái)進(jìn)給系統(tǒng)的編程，帶動(dòng)線位移E+E傳感器在測(cè)量范圍內(nèi)的定點(diǎn)移動(dòng)，每一定點(diǎn)分別記錄采集測(cè)量E+E傳感器的輸出值和直線光柵基準(zhǔn)的長(zhǎng)度值。校準(zhǔn)軟件采用zui小二乘法原理進(jìn)行線位移E+E傳感器的數(shù)據(jù)處理和參數(shù)指標(biāo)評(píng)估，即實(shí)現(xiàn)了線位移E+E傳感器的校準(zhǔn)。該校準(zhǔn)裝置的測(cè)量范圍：（0～2000）mm，測(cè)量不確定度為U95(112L)μm（L單位為m, k2）分辨率：0.1μm。由控制系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、長(zhǎng)度基準(zhǔn)系統(tǒng)、大理石工作臺(tái)、移動(dòng)工作臺(tái)、E+E傳感器裝夾定位機(jī)構(gòu)等組成。其中，控制系統(tǒng)采用計(jì)算機(jī)＋運(yùn)動(dòng)控制卡PMAC主從控制方式的開(kāi)放式系統(tǒng)，運(yùn)動(dòng)控制卡插入工業(yè)PC機(jī)的插槽中，完成實(shí)時(shí)控制任務(wù)，計(jì)算機(jī)做非實(shí)時(shí)處理，人機(jī)界面支持用戶自己定制。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、伺服電機(jī)和減速器等組成，以滿足E+E傳感器的低速平穩(wěn)測(cè)量需求。傳動(dòng)系統(tǒng)由聯(lián)軸器、滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌等組成，確保運(yùn)動(dòng)平滑、傳動(dòng)平穩(wěn)靈活，阻力小，導(dǎo)向精度高。數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)由直流驅(qū)動(dòng)電源和高精度數(shù)字萬(wàn)用表等組成，通過(guò)對(duì)被校E+E傳感器的電源供給激勵(lì)和電壓、電流輸出USB通訊，實(shí)現(xiàn)被校E+E傳感器數(shù)據(jù)的自動(dòng)采集。

線位移E+E傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)裝置研究
通過(guò)實(shí)際使用證明，該校準(zhǔn)裝置能滿足設(shè)計(jì)需求，大大提高校準(zhǔn)線位移E+E傳感器的工作效率，保證位移量值傳遞的準(zhǔn)確可靠和統(tǒng)一，適應(yīng)自動(dòng)化校準(zhǔn)的發(fā)展趨勢(shì)。該校準(zhǔn)裝置的性能已通過(guò)上級(jí)計(jì)量部門(mén)的驗(yàn)證和考核。