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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) | 儀器種類 | 油擴(kuò)散泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
ESA型は、MO-CVD等の大流量軽ガス排気性能及びLCDスパッタ裝置?真空乾燥プロセス?大型ロードロック室等の高速排気性能に優(yōu)れ、負(fù)荷に応じた回転數(shù)自動(dòng)制御機(jī)能?通信機(jī)能等の付加価値を搭載した獨(dú)立設(shè)置型ドライ真空ポンプです。
特長(zhǎng)
型式：ESA15-D／ESA25-D／ESA70W（-D）／ESA70WN（-D）／
ESA80W-HDF／ESA80WN-HDF／ESA100W／ESA100WN
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（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重芯較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重芯低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重芯較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。