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DS300質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | 面議 |
- 型號
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 北京市
更新時間：2020-06-16 18:02:46瀏覽次數(shù)：3453
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
DS300質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢
• 控制精度高，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理，*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。
DS300質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
DS300C | |
型號 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規(guī)格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤ 0.5sec |
進(jìn)口壓力 | 240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
溫度系數(shù) | 零點：≤±0.02% F.S./℃； |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
大工作壓力 | 0.45MPa |
工作環(huán)境溫度 | （10～45）℃ |
輸入信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
輸出信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) |
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭； |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭； |
重量 | 1.2Kg |
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