[供應]CS100-數(shù)字式氣體質量流量控制器

貨物所在地：北京北京市
產(chǎn)地：北京
更新時間：2024-11-26 21:00:06
有效期：2024年11月26日 -- 2025年5月26日
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產(chǎn)品簡介

CS100數(shù)字式氣體質量流量控制器產(chǎn)品類型：高精度型,快響應型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

詳細介紹

CS100數(shù)字式氣體質量流量控制器產(chǎn)品類型：

高精度型,快響應型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

CS100數(shù)字式氣體質量流量控制器技術參數(shù)：

產(chǎn)品型號
產(chǎn)品類型	高精度型,快響應型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程	1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
產(chǎn)品精度	±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應時間	≤1sec
工作溫度范圍	(0~50)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,金屬密封 Metal
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V,24V
閥類型	常閉
溫度系數(shù)	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Span: ≤±0.1% F.S./℃
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學成分
表面粗糙度	25µinch
抗電磁干擾	- 無 -
重量	1.2Kg

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