horiba氣體質量流量計SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212  

horiba高精度氣體質量流量計Z552MGX/Z562MGX 又稱氣體質量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z552MGX是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中。

國內多回收、二次銷售，我公司提供進口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，

 horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX保證全新進口，終身維修。

產品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應：< 1秒 (全量程范圍內，任意設置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

 horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

產品參數(shù)