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Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)屬于SEC-500X系列，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

暢銷型號(hào)：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

產(chǎn)品概述：

Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)屬于SEC-500X系列，高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國(guó)內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba Z522、Z524高品質(zhì)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：

1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定；
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)；
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn))；
4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作；
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫(kù)存；
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容；
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行；
8) 氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)。

產(chǎn)品參數(shù)：

規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號(hào)*1	SEC-Z512、Z514	SEC-Z512MGX	SEC-Z522MGXN	SEC-Z522MGX
		SEC-Z514MGX	SEC-Z524MGXN	SEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量(N2 轉(zhuǎn)換流量)	1/2SCCM	10SCCM-10SLPM	10-50SLM
閥門類型	O: 通常打開(kāi) C: 通常關(guān)閉
關(guān)閉控制閥時(shí)的流量	≤ 2% F.S.
流量測(cè)量范圍	0-100% of F.S.
精確性*2	±1.0%F.S.	±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
		±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度	5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)	≤ 1 秒:超過(guò)全流量范圍
直線性	≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性	≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值	≤ 300 kPa (d)
zui大工作壓力	450 kPa (g)
耐壓	1000 kPa (g)
外部泄漏率	≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號(hào)	0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號(hào)	0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面	地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
	F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)	316L 不銹鋼(表面拋光)
電源	+15V±5% 150mA
	-15V±5% 150mA
信號(hào)反應(yīng)	模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
	數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭*3	1/4 inch VCR		1/4 inch VCR	1.5 inch IGS
	選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS		可選1.125 inch IGS
安裝方向	自由
1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。 2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。 3IGS:完整氣體系統(tǒng)。 SCCM和SLM是表示氣體流量的記號(hào)。(mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)。

本公司同時(shí)提供美國(guó)AALBORG、美國(guó)Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器。

進(jìn)口數(shù)字型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

進(jìn)口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進(jìn)口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。

國(guó)內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32。

國(guó)內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國(guó)TKF 1/4手動(dòng)隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動(dòng)隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，美國(guó)Valex不銹鋼管，1/4"EP級(jí)不銹鋼管、3/8"EP級(jí)不銹鋼管、1/2"EP級(jí)不銹鋼管。

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