KEYENCE WI-001 干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x測(cè)量頭

型號(hào)

WI-001^*1*2*3

參考距離

18 mm

測(cè)量范圍

Z

1.4 mm(標(biāo)準(zhǔn)模式)，0.7 mm(高速模式)

XY

1 × 1 mm

zui小檢測(cè)區(qū)域

4 × 4 µm

重復(fù)精度(段差)

0.1 µm^*4

直線性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F(xiàn).S.=1.4 mm，+20 至+30℃)^*5

測(cè)量用光源

類型

紅外線SLD

中心波長(zhǎng)

830 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 類

輸出

3.6 mW

引導(dǎo)用光源

類型

紅色半導(dǎo)體激光

波長(zhǎng)

660 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

1 類

輸出

0.15 mW

采樣周期

內(nèi)部觸發(fā)

133 ms(高速模式)，266 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)

外部觸發(fā)

zui快 266 ms(高速模式)，zui快 532 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)^*6

環(huán)境抗耐性

環(huán)境光照

白熾燈/熒光燈：5,000 lux 以下

環(huán)境溫度

0 至 +35 °C

相對(duì)濕度

20 至 85 % RH (無凝結(jié))

重量

約 3000 g

^*1 FDA (CDRH) 的激光分類是基于 IEC60825-1 并根據(jù) Laser Notice No.50 的要求而實(shí)施的。高度(從測(cè)量頭的基準(zhǔn)面到測(cè)量工件的距離)的分辨率為 1µm(*2)。
^*2 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量單一矩形區(qū)域(*3)的平均高度 30 秒時(shí)的±3σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí))。
^*3 矩形的尺寸為WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
^*4 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差 30 秒時(shí)的σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
^*5 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物，并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差時(shí)的值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí)，且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
^*6 拍攝時(shí)的工件停止時(shí)間為高速模式 120 ms，標(biāo)準(zhǔn)模式 240 ms。

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