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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,汽車,電氣,綜合 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
計(jì)量檢測(cè)高精度雙頻激光干涉儀
滿足計(jì)量檢測(cè)用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，
在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率高性能的同時(shí)，
將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里，
一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；
典型頻差6±1MHz，測(cè)速高達(dá)2m/s。
系統(tǒng)組成：
LH2000激光測(cè)頭及附件
環(huán)境補(bǔ)償單元
測(cè)量軟件
測(cè)量鏡組（選配：位置度測(cè)量鏡組、直線度測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組等）
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測(cè)量附件
參數(shù)指標(biāo)：
| 激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm | |
| 激光頭重量 | 3.3kg | |
| 激光光束直徑 | 6mm | |
| 激光功率 | >0.5mw | |
| 真空波長(zhǎng) |
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| 頻差 | 可定制 典型值6.0MHz | |
| +15℃~+35℃ | |
| 激光穩(wěn)頻精度 | ±0.02ppm | |
| 線性測(cè)量范圍 | 40m | |
| 線性測(cè)量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補(bǔ)償器) | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 測(cè)量速度 | 2m/s | |
| 工作電源 | 220V/50Hz | |
| 儲(chǔ)存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |