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橢圓偏振的測量
閱讀：1181 發(fā)布時間：2017-12-3實驗項目：
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
實驗儀器：
橢圓偏振測厚儀 型號：FMD6133
指標：
偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°-180°
測量范圍：1nm-300nm
測量值：≤1nm
入射角：30°-90°；誤差：≤0.1°
度盤刻度：每格2度
游標zui小讀數(shù)：0.05°
光學中心高度：152mm
工作臺直徑：Φ70mm
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富盟德電子科技有限公司 |
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18821670317 |
實驗項目：
1.了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2.掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法
實驗儀器：
橢圓偏振測厚儀 型號：FMD6133
指標：
偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°-180°
測量范圍：1nm-300nm
測量值：≤1nm
入射角：30°-90°；誤差：≤0.1°
度盤刻度：每格2度
游標zui小讀數(shù)：0.05°
光學中心高度：152mm
工作臺直徑：Φ70mm