光腔衰蕩光譜方法（CRDS， Cavity Ring-Down Spectroscopy）是一種基于高精細(xì)度諧振腔的高靈敏度探測(cè)技術(shù)，主要用于精確測(cè)量各種反射率大于99%的超高反射率反射鏡的反射率，測(cè)量精度可達(dá)百萬(wàn)分之一量級(jí)！

光腔衰蕩光譜方法通過對(duì)指數(shù)型的腔內(nèi)衰蕩信號(hào)的檢測(cè)，擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差。由兩片99.99% 反射率組成的光腔對(duì)損耗的測(cè)量精度可達(dá)ppm量級(jí)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

高反射鍍膜層損耗的精密測(cè)量

正入射反射率R>>99%的平面或凹面光學(xué)元件的損耗測(cè)量

精度dR/R<2ppm @ R>99.5%

檢測(cè)用激光波長(zhǎng)可選（如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm）

測(cè)量原理：

脈沖光或快速開關(guān)的連續(xù)光耦合進(jìn)諧振腔

待測(cè)膜層在每次往返光程中經(jīng)反射產(chǎn)生損耗

時(shí)間相關(guān)的輸出信號(hào)的精確測(cè)量得到衰蕩數(shù)據(jù)

脈沖光往返時(shí)間已知，根據(jù)衰蕩的時(shí)間特點(diǎn)，得到反射率

技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量反射率：    R>>99%

精度：              dR/R < 2ppm @ R>99.5%

樣品/基底要求*：  ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm

基底透明，后表面平面拋光

*0o正入射測(cè)量，其他要求可訂制。

供電電源：

激光器              100~240VAC, 50~60Hz

探測(cè)器              +/-9 VDC

接口：              USB 2.0

含數(shù)據(jù)采集， A-D轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)處理等模塊。軟件包括反射率分析、生產(chǎn)數(shù)據(jù)錄入及處理等。