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納米平移臺(壓電馬達(dá)型,10-1500mm行程)
XLS系列線性位移平臺,是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動,可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動,速度可達(dá)到200mm/s,并且該平臺非常適用于掃描,可提供恒定的掃描速度,速度不穩(wěn)定性低于2%。
該平臺采用超聲波馬達(dá),對于這種馬達(dá)平臺的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產(chǎn)生微小移動,并通過高頻率產(chǎn)生*的速度,并且沒有噪聲,電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖,由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸,大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。
XLS系列平臺可提供不同的行程,行程范圍可達(dá)到100mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用,平臺集成不同精度的位置傳感器,目前可提供的位置傳感器有1.25μm;330nm;78nm和1nm具體參數(shù)如下圖所示:
此外根據(jù)不同應(yīng)用可以選擇不同行程的平臺,可提供平臺行程參數(shù)如下:
此外,由于該平臺采用模塊化設(shè)計,可以組成多維位移平臺,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。
主要特點:
l 大行程 (100mm)
l 高精度(25nm)
l 高速度(100mm/s)
l 支持?jǐn)嚯娮枣i
l 可在真空和非磁環(huán)境
主要應(yīng)用:
l 光電子學(xué)
l 掃描電子顯微鏡
l 半導(dǎo)體生產(chǎn)
l 醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)
l 生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)
l 顯微鏡和計量學(xué)
納米平移臺(壓電馬達(dá)型,10-1500mm行程)
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