目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>>輪廓儀>> IMOS納米表面輪廓儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 納米模式下的Z軸分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡) |
納米表面輪廓儀
IMOS納米表面輪廓儀實現(xiàn)了精確、定量、iso兼容、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征，在短短幾秒鐘內(nèi)可捕獲多達200萬個數(shù)據(jù)點。選擇正確的光學輪廓儀系統(tǒng)取決于您的應(yīng)用程序的要求，包括速度、精度、垂直范圍、自動化和靈活性。
IMOS光學表面輪廓儀在非接觸式光學表面輪廓方面提供了強大的通用性。有了該系統(tǒng)，它可以方便快捷地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯。所有的測量都是無損的，快速的，不需要特殊的樣品準備。納米表面 輪廓儀系統(tǒng)的核心是部分相干光干涉技術(shù)，它提供亞納米精度測量更廣泛的表面比其他商業(yè)可用技術(shù)。
IMOS 納米表面 輪廓儀提供了不同的應(yīng)用程序的特殊價值，如平直，粗糙度，波浪形，臺階高度等等。
IMOS 納米表面 輪廓儀配備了一個變焦頭，可以填充離散變焦光學定制的系統(tǒng)。樣本分段配置范圍從*自動化到*自動化的編碼行程。
IMOS 納米表面 輪廓儀提供高精度測量，易于使用，快速測量，有吸引力的價格，使其成為多功能3D光學輪廓儀的理想選擇。
納米表 面輪廓儀主要優(yōu)點:
- 納米模式下的Z軸分辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡)
~ 0.3um微地貌模式下
- 外形緊湊;
- 快速響應(yīng);
- 抗外部振動;
- 測量過程自動化程度高;
- 特殊的用戶友好的界面;
- 高質(zhì)量的圖形界面，以工作與多計劃三維表示的測量結(jié)果;
- 廣泛的可能性配置的顯微鏡，以各種形態(tài)-邏輯的測量表面;
- 能夠工作在兩種模式:微浮雕和納米浮雕;
- *的存儲系統(tǒng)和測量結(jié)果的系統(tǒng)化。
在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm硅晶體表面的階地，高度為0.314nm在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm
微起伏模式下的測量結(jié)果
硅晶體表面的階地，高度為0.314nm
認證口徑，標稱高度值為101nm±3%
IMOS納米表面 輪廓儀組成
光電探測器*
矩形ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
顯微物鏡*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不變
壓電掃描振鏡
位移臺
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相機抓幀器
位移臺控制器
設(shè)備控制器
計算機
軟件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
* – 按客戶需求
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