目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專(zhuān)用實(shí)驗(yàn)設(shè)備>>光刻機(jī)>> SMART PRINT UVDMD無(wú)掩膜光刻機(jī)
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更新時(shí)間:2021-06-23 09:29:56瀏覽次數(shù):2632評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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主要特性 | 兼容i、h、g線(xiàn)光刻膠 |
DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)
DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無(wú)掩模光刻設(shè)備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù),投影出具有微米分辨率的圖像,無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint無(wú)需任何進(jìn)一步步驟,就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無(wú)掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體,生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。
DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)主要特性:
兼容i、h、g線(xiàn)光刻膠
SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標(biāo)準(zhǔn)i, h和g線(xiàn)光刻膠,如SU8或AZ®1500系列
適用于各種各樣的基材
我們的物鏡范圍經(jīng)過(guò)精心選擇,具有較長(zhǎng)的工作距離(高達(dá)3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術(shù),因此兼容非標(biāo)準(zhǔn)基材(非平的,靈活的,厚的)。
可調(diào)直寫(xiě)范圍和分辨率——用戶(hù)可獲得四種不同的直寫(xiě)分辨率
最優(yōu)直寫(xiě)分辨率1.5um
兼容任何尺寸的樣品,最大5平方英寸
對(duì)齊方式直觀(guān)——反饋相機(jī)與第二束590nm準(zhǔn)直光源疊加使用
體積小,性?xún)r(jià)比高
DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:
光器件 微流控 微電子
DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)指標(biāo)參數(shù):
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)