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TEM-415-16氦氣過濾器上?；壑荡罅楷F(xiàn)貨

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TEM-415-16氦氣過濾器上?；壑荡罅楷F(xiàn)貨

TEM-415-16現(xiàn)貨  

TEM-415-12現(xiàn)貨

TEM-415-8現(xiàn)貨

TEM-814現(xiàn)貨

TEM-815現(xiàn)貨

GasPro公司 TEM-400系列過濾器設(shè)計(jì)用于3納米顆粒截留率高達(dá)75 scfm

溫度高達(dá)80C（176F）。ePTFE膜（0.21m2/2.3平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼，具有良好的流動性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton?o形圈（其他o形圈材料可在重新測試時獲得）。

應(yīng)用

•一般和工藝惰性設(shè)施氣體半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度

應(yīng)用。

•清潔干燥空氣，用于關(guān)鍵計(jì)量、檢查和光刻應(yīng)用

規(guī)格

•過濾等級

我們的多孔ePTFE過濾器提供高效的顆粒

保留3nm。

•最高工作溫度*80°C（176°F）。

建議更換：

在69oC（156oF）以上運(yùn)行6個月。

•最大工作壓力

17.2 bar（250 psig）@20°C（68°F）。

•最大正向流量壓差

20oC（68oF）：6.0 bar（87磅/平方英寸）

80oC（176oF）：4.0bar（58磅/平方英寸）


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