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更新時(shí)間:2025-01-16 15:28:35瀏覽次數(shù):222評(píng)價(jià)
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LCMK-EM Low-Current Measurement Kit
LCMK-EM低電流測(cè)量套件是用于MM3A-EM微納操縱儀的低電阻、低噪音探針支架(probe holder)。它可以對(duì)導(dǎo)電樣品進(jìn)行低電容、低電流測(cè)量,從而增強(qiáng)MM3A的功能。
標(biāo)準(zhǔn)鎢探針可插入LCMK-EM探針支架。三通軸電纜(Triax cable)和饋入件(feedthrough)將電信號(hào)傳輸?shù)竭m配器上,適配器適用于所有傳統(tǒng)參數(shù)分析儀(Parameter analyzer)。
LCMK低電流測(cè)量套件插件工具可快速方便地安裝到已有的MM3A-EM微機(jī)械手上。
應(yīng)用(Application)
失效分析
高K柵極材料的鑒定
EBIC/RCI分析
納米線、超薄膜等優(yōu)良材料的電特性分析
技術(shù)參數(shù)(Specification)
電流測(cè)量極限:0.2pA
絕緣漏電流:50 fA at 1 V
信號(hào)傳導(dǎo)電阻:0.9 Ω
最大電壓:210V
最大電流:200mA
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)