AST橢偏儀薄膜分析儀SR300

基本功能

1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
2，實現薄膜均勻性檢測
3，實現反射、投射以及顏色測量

產品特點

  強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫；
  簡便、易行的可視化測試界面，可根據用戶需求設置不同的參數；
  快捷、準確、穩(wěn)定的參數測試；
  支持多功能配件集成以及定制；
  支持不同水平的用戶控制模式；
  支持多功能模擬計算等等。

系統(tǒng)配置

  型號：SR300
  探測器： 2048像素的CCD線陣列
  光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素燈
  光傳送方式：光纖
  臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小
  軟件： TFProbe 2.2版本的軟件

  通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連
  測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率
  電腦硬件要求：P3以上、50 MB以上的空間
  電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
  保修：一年的整機及零備件保修

  波長范圍：400nm到1100 nm
  光斑尺寸：500μm至5mm
  樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm
  基板尺寸：多可至50毫米厚
  測量厚度范圍*：2nm～50μm
  測量時間：2毫秒
  精度*：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學常數，讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較）
  重復性誤差*：小于1 ?

可選配件項

  用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR300RT) )
  低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP300)
  在多個位置下，多個通道用于同時測量 (SR300xX)
  在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪（SRM300-200/300）