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當前位置:> 供求商機> LFT1400C 300D602ZLV CVD-薄膜材料制備
一、設備特點:
薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實驗環(huán)境。該設備技術成熟、質量可靠,溫場均勻,結構合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡便快捷,是各大材料實驗室的理想設備之一。
1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機材料,不含污物,潔凈,美觀。
2、采用模糊PID控制精準控制,溫場均勻,燒結成品一致性好。
3、爐體采用雙層風冷機構,爐子燒到最高溫度時,殼體表面溫度低于60度。
4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節(jié)能。
二、技術參數(shù):
名稱 | 規(guī)格 | 單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng) |
單溫區(qū)真空管式爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等) |
主要參數(shù) | 最高溫度: 1400℃ 工作溫度: 1300℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長度: 300mm 額定功率:4KW 電壓:單相AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結構 | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 | |
溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ S型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集(需另購) | |
溫控儀表(可選) | 標配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。 | |
管堵 | 多種規(guī)格管堵,防止來自內部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。 | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭) 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(需另外訂購) 備注:本公司標配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計,以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣 | |
擴展端口 | 如進氣管道為橡膠軟管,則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機械泵:10^-1Pa 分子泵機組:10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
二路質量流量控制系統(tǒng) MFC-2Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇) | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
最大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m3/h 極限真空度:10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接 | |
質保期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |
相關應用 | 爐膛內襯可以單獨更換(額外付費) 可以根據(jù)要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 | |
應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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