詳細(xì)介紹
中型安捷倫VacIon Plus離子泵具有從 20 到 75 L/s 的氮?dú)獬樗俜秶?,并具?Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號(hào)。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于在恒定的壓力下抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中,因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析等應(yīng)用。設(shè)計(jì)的 StarCell 是惟一能同時(shí)抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。
安捷倫VacIon Plus離子泵性能指標(biāo):
中型 VacIon Plus 泵 | 抽氣口法蘭 | 型號(hào) | 抽速 (L/s)(在 1–6mbar 壓力下的飽和泵)氮?dú)?/span> | 工作壽命(小時(shí))(在 1–6 mbar 壓力下) | 重量 |
VacIon Plus 20 | 2 3/4 英寸外徑 CFF (NW 35) | Star Cell | 20 | 80000 | 凈重 7 (15)
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外形圖:
技術(shù)規(guī)格:
Agilent VacIon Plus 20
StarCell | Noble Diode | Diode | |
氮?dú)忸~定抽速 (*) (L/s) | 20 | 22 | 27 |
在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命(小時(shí)) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
最大啟動(dòng)壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
極限真空 | 低于 10-11 | ||
抽氣口法蘭 | 2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST | ||
最高烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
重量,kg(磅)(帶鐵氧體磁鐵) | 凈重 7 (15),運(yùn)輸重量 11 (24) |
(*) 根據(jù) ISO/DIS 3556-1-1992 測(cè)試