詳細(xì)摘要： 供氣系統(tǒng)需要兩級(jí)減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室。二級(jí)減壓器安裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，便于對(duì)通...

詳細(xì)摘要： 所有氣體管路都由高質(zhì)量、退火型、高潔凈無縫連接的不銹鋼管組成。銅管也可使用在氣體管路的末端（低壓端）、或是某些對(duì)不銹鋼金屬過敏起反應(yīng)的氣體。或是對(duì)氣體純度要求不...