2019年3月21日，賽默飛亮相于上海舉辦的SEMICON CHINA 2019展會(huì)，現(xiàn)場(chǎng)發(fā)布展示了其新一代的產(chǎn)品及半導(dǎo)體綜合解決方案，新品致力于提高工廠及分析性實(shí)驗(yàn)室效率，進(jìn)一步助力中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)的發(fā)展。

自2014年6月《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》正式發(fā)布，中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)拉開(kāi)了高速發(fā)展的序幕。近年來(lái)，應(yīng)用可編程芯片(FPGA)、人工智能云端以及邊緣運(yùn)算端芯片等一系列前沿技術(shù)的半導(dǎo)體新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)正如火如荼地進(jìn)行——半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)也在不斷提高，實(shí)現(xiàn)更先進(jìn)的制程工藝、更高的良率、更大的產(chǎn)能成為半導(dǎo)體行業(yè)迫切需要面對(duì)和解決的問(wèn)題。賽默飛中國(guó)區(qū)總裁艾禮德（Tony Acciarito）表示：“新興技術(shù)市場(chǎng)趨勢(shì)以及政策支持正為中國(guó)半導(dǎo)體和電子科技產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了的機(jī)遇，秉持‘扎根中國(guó)、服務(wù)中國(guó)’的發(fā)展戰(zhàn)略，我們期待利用自身在半導(dǎo)體行業(yè)的豐富經(jīng)驗(yàn)及優(yōu)勢(shì)，攜手本土合作伙伴，共同推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和創(chuàng)新。”

在此次SEMICON CHINA 2019上，賽默飛從多個(gè)維度綜合展現(xiàn)了其在實(shí)驗(yàn)室方案、失效分析、環(huán)境分析以及生產(chǎn)支持方面的綜合能力以及一體化解決方案。其中以Thermo Scientific™ Helios 5為代表的一眾新品，也通過(guò)SEMICON CHINA 2019這個(gè)的平臺(tái)次在中國(guó)與業(yè)界的朋友們見(jiàn)面。

 

近幾年來(lái)，半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)普遍接受使用ELITE (Enhanced Lock In Thermal Emission) 實(shí)現(xiàn)電性失效分析定位的工作。ELITE具有的靈敏度，可以幫助傳統(tǒng)EMMI / OBIRCH 檢測(cè)的不足。ELITE 還可以作為非破壞性檢測(cè)，對(duì)于封裝后的元件，分析失效點(diǎn)深度的位置。除了先進(jìn)制程和封裝的需求，針對(duì)功率元件在車用電子的應(yīng)用，ELITE還支持高電壓的測(cè)試。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50 FT-IR 光譜儀
賽默飛Nicolet旗下 iS50/iG50 系列硅片分析系統(tǒng)為硅片的研究或者大規(guī)模制造的質(zhì)量控制提供了靈活強(qiáng)大的解決方案。 Nicolet iS50/iG50 系列硅片分析系統(tǒng)主要可以應(yīng)用于氧、碳含量分析以及外延層 （EPI） 厚度測(cè)量。除此之外，iS50/iG50還可以應(yīng)用于鈍化層分析，例如：PSG、BSG、PBSG 中 PB 含量、Si中H的含量測(cè)定以及FSG。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10 光譜儀
賽默飛Nicolet旗下 iN10是一種直觀、創(chuàng)新、集成的一體化傅里葉變換顯微紅外光譜儀，具有安裝簡(jiǎn)便、性能、光譜質(zhì)量高的特點(diǎn)。Nicolet iN10 顯微紅外光譜儀在半導(dǎo)體微電子領(lǐng)域主要應(yīng)用于：固化膠的固化率測(cè)定、電子材料的分析與表征、顯示材料的剖析與表征以及異物分析。

 

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS
支持三重四極桿技術(shù)的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一種高性能 ICP-MS，適用于在與半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)的多種挑戰(zhàn)性基質(zhì)中進(jìn)行痕量元素超痕量定量檢測(cè)。在不犧牲其作為靈敏、易用的工作臺(tái)儀器所具備的檢測(cè)能力的前提下，具有三重四極桿技術(shù)出色的干擾去除能力，可更好地對(duì)各種具挑戰(zhàn)性的基質(zhì)中的元素雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面積小，加上具有簡(jiǎn)化的工作流程并支持自動(dòng)化方法開(kāi)發(fā)而特別易于使用，使其成為用于確保關(guān)鍵生產(chǎn)工藝一致性和提高半導(dǎo)體硅片加工產(chǎn)量而進(jìn)行在線質(zhì)量控制的理想檢查工具。

Thermo Scientific™ NESLAB ThermoFlex 系列
性能可靠的多用途制熱/冷卻恒溫循環(huán)器，可為需要的小型實(shí)驗(yàn)室到大型工業(yè)過(guò)程，提供制熱/冷卻恒溫循環(huán)的關(guān)鍵應(yīng)用，高可達(dá)24000瓦的制熱/冷卻恒溫循環(huán)能力。本產(chǎn)品提供創(chuàng)新平臺(tái)，可配置的設(shè)計(jì)，易于操作，以及的性能。