日立大型掃描電鏡

在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里，從物質(zhì)的微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應(yīng)用。SEM用途日益擴(kuò)大，但對于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺能對應(yīng)的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時需要進(jìn)行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細(xì)形貌和進(jìn)行各種分析則成為重要的課題。

近年來為了實現(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優(yōu)化材料的微細(xì)結(jié)構(gòu)。目前SEM的應(yīng)用除了以往的研究開發(fā)以外，已擴(kuò)展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面，使用頻率日益高漲。同時市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進(jìn)一步減輕操作人員的負(fù)擔(dān)。

　　此次發(fā)售的“SU3800"與“SU3900"，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900日立大型掃描電鏡"，可選配最 大直徑300mm ^*1、最 大承重5kg樣品(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品臺，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

　　同時操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實現(xiàn)了快速觀察。

　　前代機(jī)型是僅僅通過CCD導(dǎo)航相機(jī)的單一彩色圖像尋找視野^*3。新機(jī)型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺，分別拍攝樣品各個部分，再將各個圖像拼接成1張大圖像，實現(xiàn)了大視野的相機(jī)導(dǎo)航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

SU3900日立大型掃描電鏡主要特點：

　　(1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的最 大樣品尺寸：“SU3800" 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。  “SU3900"作為日立高新技術(shù)的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載最 大直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品

　　(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800"與“SU3900"的最 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP"導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上觀察目標(biāo)位置，即可移動視野

　　■安裝有“Multi Zigzag"系統(tǒng)，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

　　(3) 通過自動化功能提高操作性能

　　■通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機(jī)型^*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament  Technology(IFT)"軟件，自動監(jiān)控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預(yù)計的更換時期。在長時間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。