日立高新場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8200系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8200 Series，SU8220，SU8230，SU8240）采用日立高新技術(shù)公司全新開發(fā)的冷場電子槍，實(shí)現(xiàn)超高分辨率下觀察的同時(shí)，穩(wěn)定的束流亦可滿足長時(shí)間下的分析需求。

在日立高新的新型冷場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款機(jī)型，于5月20日開始發(fā)售。

日立高新的新型冷場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)主要特點(diǎn):

日立高新新研發(fā)的冷場電子槍

•利用電子槍轟擊后的高亮度穩(wěn)定期，高分辨觀察和分析兼顧

•大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

•減輕污染的高真空樣品倉

•通過頂部過濾器(選配項(xiàng))實(shí)現(xiàn)多種材料對比度可視化

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