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GV400愛德華干泵維修

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所  在  地東莞市

更新時(shí)間:2024-12-10 08:56:12瀏覽次數(shù):440次

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GV400愛德華干泵維修
:機(jī)械增壓泵采用*的液力驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)高效的動(dòng)力傳送,在經(jīng)濟(jì)性、性能和緊湊性方面擁有優(yōu)勢(shì)。這些增壓泵適用于高壓力差的場(chǎng)合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng),從而減少總體抽氣時(shí)間。

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  GV400愛德華干泵維修,干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無需潤(rùn)滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。

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愛德華GV系列標(biāo)配真空機(jī)組維修:GV80+EH250、GV80+EH500、GV160+EH1200、

GV250+EH2600、GV400+EH2666、GV400+EH4200、GV600+EH4200等,專業(yè)承接進(jìn)口愛德華

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