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準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)

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  • 準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 F60
  • 品牌 ONO SOKKI/小野測器
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 武漢市

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更新時(shí)間:2024-06-01 07:36:42瀏覽次數(shù):823

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)    
日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F6
F50機(jī)型,帶缺口檢測、自動基線功能和互鎖機(jī)制
自動測量對準(zhǔn)、基線和薄膜厚度映射

詳細(xì)介紹

日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60

1

F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的機(jī)型,具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機(jī)制。
只需將樣品放在載物臺上,然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊、基線和膜厚映射。

 

主要特點(diǎn)

 

  • F50機(jī)型,帶缺口檢測、自動基線功能和互鎖機(jī)制

  • 自動測量對準(zhǔn)、基線和薄膜厚度映射

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體
抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

產(chǎn)品陣容

模型F60-tF60-t-UVF60-t-近紅外F60-t-EXR測量波長范圍膜厚測量范圍




380 – 1050nm
190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
2納米1納米3納米2納米

測量示例

可以測量硅晶片上的氧化膜、抗蝕劑等。只需設(shè)置樣本,對齊、參考等將*自動完成。


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