德國巴魯夫BALLUFF壓力傳感器分類：
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，將各種傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處理，最終產(chǎn)生對觀測環(huán)境的一致性解釋。在這個過程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進(jìn)行合理支配與使用，而信息融合的最終目標(biāo)則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別、多方面組合導(dǎo)出更多有用信息。這不僅是利用了多個傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢，而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化。
壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
擴(kuò)散硅壓力變送器
擴(kuò)散硅壓力變送器是把帶隔離的硅壓阻式壓力敏感元件封裝于不銹鋼殼體內(nèi)制作而成。它能將感受到的液體或氣體壓力轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的電信號對外輸出，DATA-52系列擴(kuò)散硅壓力變送器廣泛應(yīng)用于供/排水、熱力、石油、化工、冶金等工業(yè)過程現(xiàn)場測量和控制。
德國巴魯夫BALLUFF壓力傳感器性能指標(biāo)：
性能指標(biāo)：
測量介質(zhì)：液體或氣體（對不銹鋼殼體無腐蝕）
量程：0-10MPa
精度等級：0.1%FS、0.5%FS（可選）
穩(wěn)定性能：±0.05%FS/年；±0.1%FS/年
輸出信號：RS485、4~20mA（可選）
過載能力：150%FS
零點(diǎn)溫度系數(shù)：±0.01%FS/℃
滿度溫度系數(shù)：±0.02%FS/℃
防護(hù)等級：IP68
環(huán)境溫度：-10℃～80℃
存儲溫度：-40℃～85℃
供電電源：9V～36V DC；
結(jié)構(gòu)材料：外殼：不銹鋼1Cr18Ni9Ti
密封圈：氟橡膠
膜片：不銹鋼316L
電纜：φ7.2mm聚氨酯專用電纜
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力（壓力）使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 （E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。
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